本發(fā)明公開了一種基于SF6綜合分析儀的多氣體檢測(cè)氣室及其檢測(cè)方法，包括氣室體，氣室體上設(shè)置有分解產(chǎn)物檢測(cè)的第一通路、SF6純度檢測(cè)的第二通路和水分含量檢測(cè)的第三通路，第一通路依次連接有第一流量調(diào)節(jié)閥、氫氣電化學(xué)傳感器、第一流量計(jì)、第一SO2電化學(xué)傳感器、第一H2S電化學(xué)傳感器和第一CO電化學(xué)傳感器，第二通路依次連接有第二流量調(diào)節(jié)閥、SF6傳感器和第二流量計(jì)，第三通道依次連接有第三流量調(diào)節(jié)閥、H2O傳感器和第三流量計(jì)，第一流量調(diào)節(jié)閥、第二流量調(diào)節(jié)閥和第三流量調(diào)節(jié)閥進(jìn)口并聯(lián)。本發(fā)明檢測(cè)效率大大提高，檢測(cè)誤差降低，檢測(cè)精度大大提高，檢測(cè)數(shù)據(jù)更可靠，三路通路一體化設(shè)置，大大提高了設(shè)備的集成化，更加節(jié)省設(shè)備占用空間，結(jié)構(gòu)更緊湊。