本公開描述了一種通量可縮放光子感測系統(tǒng)。所述系統(tǒng)包括多個半導體管芯,所述多個半導體管芯共用公共半導體襯底,并且包括一個或多個硅通孔。所述系統(tǒng)進一步包括多個光子檢測傳感器,所述多個光子檢測傳感器被配置成執(zhí)行生物或化學樣本的單分子或簇測序分析。所述系統(tǒng)進一步包括將所述多個半導體管芯彼此分開的多個切割道。所述多個光子檢測傳感器中的兩個直接相鄰的光子檢測傳感器布置在由所述多個切割道中的一個切割道分開的相應兩個半導體管芯上。光子檢測傳感器包括多個亞衍射極限(SDL)光敏元件。每個SDL光敏元件對單個光電子敏感。單個圖像像素是基于由SDL光敏元件生成的一個或多個二維或三維輸出陣列生成的。
聲明:
“用于分子檢測和感測的高通量分析系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)