亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 半導(dǎo)體晶圓化學(xué)機(jī)械研磨工序的研磨動作分析方法及其裝置

半導(dǎo)體晶圓化學(xué)機(jī)械研磨工序的研磨動作分析方法及其裝置

827   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:35:56
本發(fā)明提供研磨動作分析方法及其裝置。其中,該方法用于借助至少一個處理器來工作的研磨動作分析裝置,上述研磨動作分析方法包括:設(shè)置與各個構(gòu)成研磨裝置的墊、頭部、晶圓、調(diào)節(jié)器有關(guān)的結(jié)構(gòu)形態(tài)變量、工作變量及分析變量的步驟;基于上述結(jié)構(gòu)形態(tài)變量、上述工作變量及上述分析變量來生成分析節(jié)點(diǎn)的步驟;利用上述分析節(jié)點(diǎn)來計(jì)算選自上述墊、上述晶圓及上述調(diào)節(jié)器的兩個結(jié)構(gòu)要素之間的摩擦距離及累積移動向量的步驟;以及輸出計(jì)算結(jié)果的步驟。
聲明:
“半導(dǎo)體晶圓化學(xué)機(jī)械研磨工序的研磨動作分析方法及其裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
化學(xué)分析
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記