一種沉積溫度的檢測(cè)方法,適用于檢測(cè)化學(xué)氣相沉積機(jī)臺(tái)的反應(yīng)室的沉積溫度,包括:于反應(yīng)室中置入待沉積物;于待沉積物上形成金屬硅化物層;測(cè)量金屬硅化物層的硅/金屬原子比;以及將硅/金屬原子比代入硅/金屬原子比對(duì)溫度的關(guān)系式以求得沉積溫度。通過(guò)上述方法可實(shí)時(shí)檢測(cè)并監(jiān)控機(jī)臺(tái)的沉積溫度。
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