本發(fā)明提供一種檢測鎢塞化學(xué)機(jī)械拋光工藝的測試結(jié)構(gòu),其中,該測試結(jié)構(gòu)包括多個(gè)模塊,其上分布有鎢塞,鎢塞大小相同,每個(gè)模塊上鎢塞分布的密集度不同。所述結(jié)構(gòu)中每個(gè)模塊的面積相等,鎢塞之間的間隔依次增大,每個(gè)模塊上的鎢塞個(gè)數(shù)依次減少,每個(gè)模塊上鎢塞密度不同。將鎢塞劃分為鎢塞組,通過改變鎢塞組的分布改變每個(gè)模塊鎢塞的分布密集度,每個(gè)模塊上鎢塞組分布的密集度不同。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明提供的測試結(jié)構(gòu)可以更清晰地看到侵蝕、邊緣過侵蝕與鎢塞密度、面積大小的關(guān)系,并且同時(shí)提供了對凹陷、鎢清除能力的檢測。
聲明:
“檢測鎢塞化學(xué)機(jī)械拋光工藝的測試結(jié)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)