公開了一種用于監(jiān)測(cè)和/或檢測(cè)反應(yīng)室中化學(xué)前體濃度的設(shè)備和方法。所述設(shè)備和方法具有在高溫環(huán)境中操作的優(yōu)點(diǎn)。光學(xué)發(fā)射光譜儀(OES)聯(lián)接于氣體源,例如固體源容器,以便監(jiān)測(cè)或檢測(cè)到達(dá)所述反應(yīng)室的所述化學(xué)前體的輸出。替代地,可以周期性地監(jiān)測(cè)流動(dòng)進(jìn)入所述OES以及進(jìn)入
真空泵,由此繞過(guò)所述反應(yīng)室的少量前體樣品。
聲明:
“用于在高溫環(huán)境中檢測(cè)或監(jiān)測(cè)化學(xué)前體的設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)