一種檢測硫酸、磷酸化學拋光液中硫酸、磷酸濃度的方法,屬于溶液檢測方法技術領域。包括如下步驟:取a?ml化學拋光槽液與純凈水按固定比例進行定容,比例值b為20;取少量定容溶液,分為等體積的兩份,通過儀器不斷加入1mol/L氫氧化鈉溶液進行酸堿中和反應,檢測消耗的氫氧化鈉體積;其中,對第一份溶液進行檢測,得到V1,V1是第一個化學計量點:PH=4.7時消耗的氫氧化鈉的體積;同理,得到第二份溶液的V2,V2是第二個化學計量點:PH=9.7時消耗的氫氧化鈉的體積;根據公式分別計算化學拋光液中硫酸、磷酸的質量。本發(fā)明可精確控制化學拋光液中磷酸和硫酸的濃度,減小槽液更換周期,降低成本。
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