本發(fā)明公開了一種基于無線傳輸?shù)幕瘜W(xué)機械拋光界面溫度檢測控制系統(tǒng)。本發(fā)明的技術(shù)方案要點為:基于無線傳輸?shù)幕瘜W(xué)機械拋光界面溫度檢測控制系統(tǒng),采用熱電偶溫度傳感器對化學(xué)機械拋光過程中基片的溫度進行監(jiān)測,采用目前主流的ARMSTM32F103系列微處理器進行處理,并通過NRF905和GSM無線模塊將溫度數(shù)據(jù)傳送至計算機以及手機進而實現(xiàn)對溫度的顯示和調(diào)控。本發(fā)明采用的GSM無線收發(fā)模塊和微處理器均可持續(xù)、穩(wěn)定24小時不間斷長年可靠地運行,采用STM32F103系列微處理器,控制精度高,反應(yīng)速度快,控制較靈活。
聲明:
“基于無線傳輸?shù)幕瘜W(xué)機械拋光界面溫度檢測控制系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)