一種掃描電鏡原位
電化學(xué)檢測(cè)
芯片及其制作方法,涉及電化學(xué)檢測(cè)芯片。掃描電鏡原位電化學(xué)檢測(cè)芯片設(shè)有上片和下片,所述上片由兩面帶有氮化硅層的硅基片制成,所述兩面帶有氮化硅層的硅基片上設(shè)有兩個(gè)對(duì)稱(chēng)的注液口和一個(gè)視窗口;所述下片由兩面帶有絕緣層和氮化硅層的硅基片制成,所述兩面帶有絕緣層和氮化硅層的硅基片一面設(shè)有參比電極、工作電極和對(duì)電極;所述上片和下片通過(guò)金屬鍵合層粘接。制作方法:1)制作上片;2)制作下片;3)將上片和下片通過(guò)金屬鍵合層粘接,形成一體化掃描電鏡原位電化學(xué)檢測(cè)芯片。使用時(shí)可直接通過(guò)注液口加入樣品,封閉注液口即可,操作簡(jiǎn)便。
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“掃描電鏡原位電化學(xué)檢測(cè)芯片及其制作方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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