一種降低化學(xué)機(jī)械拋光工藝熱點(diǎn)檢測(cè)漏報(bào)率的方法，包括：第一步驟：執(zhí)行版圖載入；第二步驟：選定格點(diǎn)大小，根據(jù)設(shè)置的起始點(diǎn)移動(dòng)步長(zhǎng)，并計(jì)算兩個(gè)垂直移動(dòng)方向上的單方向移動(dòng)次數(shù)；第三步驟：將版圖切割起始點(diǎn)(X, Y)按照{(diào)(X?m*s), (Y?n*s)}進(jìn)行移動(dòng)，其中s為起始點(diǎn)移動(dòng)步長(zhǎng)，m和n為整數(shù)且初值均為所述單方向移動(dòng)次數(shù)；第四步驟：執(zhí)行格點(diǎn)幾何信息提??；第五步驟：執(zhí)行化學(xué)機(jī)械拋光工藝模擬預(yù)測(cè)；第六步驟：執(zhí)行熱點(diǎn)檢測(cè)；第七步驟：使得n遞增1，在遞增1之后的n小于單方向移動(dòng)次數(shù)時(shí)，重復(fù)第三步驟到第六步驟，或使得m遞增1，在遞增1之后的m小于單方向移動(dòng)次數(shù)時(shí)，使得n遞增1，當(dāng)遞增1后的n也小于單方向移動(dòng)次數(shù)時(shí)，重復(fù)第三步驟到第六步驟。