一種化學機械平坦化終點檢測方法,包括:利用樣片,以單一平坦化速率進行基礎終點檢測;根據(jù)基礎終點檢測結(jié)果將實際終點檢測過程分為第一步驟及第二步驟;在實際終點檢測過程中設定第一平坦化速率及第二平坦化速率;以所述第一平坦化速率進行第一步驟;以所述第二平坦化速率進行第二步驟;順序進行第一步驟及第二步驟,完成實際終點檢測。應用此終點檢測方法,既可保證終點檢測的可靠性,又能縮短終點檢測耗用時間,同時具有廣泛的適用范圍。
聲明:
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