本發(fā)明提供一種化學(xué)機(jī)械研磨刮傷的檢測(cè)方法,包括:將完成化學(xué)機(jī)械研磨的晶圓在氧化性酸溶液中浸泡一定時(shí)間;對(duì)所述經(jīng)過(guò)浸泡的晶圓進(jìn)行檢測(cè)。本發(fā)明解決了現(xiàn)有技術(shù)中不容易檢測(cè)細(xì)微刮傷的技術(shù)問(wèn)題,使細(xì)微刮傷被加強(qiáng),使檢測(cè)結(jié)果的精確度更高了。
聲明:
“化學(xué)機(jī)械研磨刮傷的檢測(cè)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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