本發(fā)明提供了一種采用
電化學(xué)檢測裝置進行局部區(qū)域形貌掃描的電化學(xué)檢測方法,通過三維步進電機實現(xiàn)探針快速、長距離的控制,通過壓電陶瓷傳感器實現(xiàn)短距離的精密控制,利用雙恒電位儀在測試樣品上維持恒定電位,同時在測試探針上外加交流電位信號,通過數(shù)據(jù)采集模塊獲取樣品局部區(qū)域的實部Zre、虛部-Zim、模值|Z|、相位角-Phase等電化學(xué)信號的三維空間分布的成像信息,并獲得等效電路的各元件參數(shù)信息。其克服常規(guī)掃描電化學(xué)顯微鏡存在的信號弱、獲得反饋電流密度信號難、檢測信號單一等缺點,可以獲得樣品表面的局部微觀阻抗分布特征,信息豐富,有利于研究解析樣品的真實特性。
聲明:
“局部區(qū)域形貌掃描的電化學(xué)檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)