本發(fā)明公開(kāi)了一種用于化學(xué)機(jī)械平坦化白光終點(diǎn)檢測(cè)的采集方法，包括以下步驟：拋光臺(tái)設(shè)置白光檢測(cè)模塊，用于收集白光經(jīng)過(guò)晶圓的反射光譜信號(hào)，光譜信號(hào)隨拋光過(guò)程膜厚減少而變化；沿拋光臺(tái)的周向設(shè)置擋件；設(shè)置觸發(fā)單元和采集單元，轉(zhuǎn)動(dòng)與擋件配合；拋光臺(tái)帶著白光檢測(cè)模塊旋轉(zhuǎn)；觸發(fā)單元邏輯狀態(tài)變化，以觸發(fā)白光檢測(cè)模塊的處理單元，向光譜儀下發(fā)等待采集指令；采集單元轉(zhuǎn)動(dòng)至擋件的起始端，觸發(fā)光譜儀，開(kāi)始采集數(shù)據(jù)；光譜儀停止采集數(shù)據(jù)；處理單元輸出晶圓去除層的膜厚光譜特征。本發(fā)明還公開(kāi)了一種用于化學(xué)機(jī)械平坦化白光終點(diǎn)檢測(cè)的采集系統(tǒng)。本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速拋光過(guò)程中，在極短采集時(shí)間內(nèi)，對(duì)大量白光光譜數(shù)據(jù)進(jìn)行穩(wěn)定且準(zhǔn)確的實(shí)時(shí)提取。