本發(fā)明公開了涉及化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)領(lǐng)域的檢測窗口、化學(xué)機(jī)械拋光墊及拋光系統(tǒng)。本發(fā)明檢測窗口設(shè)置在拋光層中,包括透光部和加強(qiáng)部,透光部下表面設(shè)置凹陷區(qū)域,加強(qiáng)部位于凹陷區(qū)域內(nèi),加強(qiáng)部與透光部一體成型或粘合為一體;所述加強(qiáng)部設(shè)置鏤空部分,0<鏤空部分橫截面積≤凹陷區(qū)域橫截面積的80%;進(jìn)一步地,所述加強(qiáng)部中部鏤空和/或邊緣鏤空,優(yōu)選為加強(qiáng)部中部鏤空、互不連通的加強(qiáng)部中部鏤空和邊緣鏤空。本發(fā)明提供的檢測窗口,窗口強(qiáng)度提高,壓縮比減小,能有效降低晶圓劃傷,并且提高拋光墊使用壽命。
聲明:
“檢測窗口、化學(xué)機(jī)械拋光墊及拋光系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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