本發(fā)明公開了一種用于化學(xué)機械拋光工藝終點檢測的離線調(diào)試系統(tǒng)及方法,該系統(tǒng)包括:數(shù)據(jù)讀取模塊,用于讀取預(yù)先存儲的電機功率數(shù)據(jù),其中,電機功率數(shù)據(jù)為化學(xué)機械拋光設(shè)備拋光晶圓過程中拋光盤電機驅(qū)動器的電機功率信號;調(diào)試模塊,用于根據(jù)電機功率數(shù)據(jù)確定終點捕捉窗口的參數(shù)值。該實施例的系統(tǒng)及方法可使工藝人員線下模擬終點檢測過程,并有效調(diào)節(jié)運動窗口參數(shù),進而在方便參數(shù)調(diào)試的同時,降低生產(chǎn)成本并提高生產(chǎn)效率。
聲明:
“用于化學(xué)機械拋光工藝終點檢測的離線調(diào)試系統(tǒng)及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)