本發(fā)明提供一種用于化學(xué)氣相沉積反應(yīng)的一體化在線檢測系統(tǒng)，包括：化學(xué)反應(yīng)子系統(tǒng)；進氣子系統(tǒng)，包括氣體質(zhì)量流量計，與所述化學(xué)反應(yīng)子系統(tǒng)相連接；抽真空子系統(tǒng)，與所述的化學(xué)反應(yīng)子系統(tǒng)相連接；氣體采集子系統(tǒng)，與所述的化學(xué)反應(yīng)子系統(tǒng)相連接；控制子系統(tǒng)，分別與所述的氣體質(zhì)量流量計、抽真空子系統(tǒng)、氣體采集子系統(tǒng)以及化學(xué)反應(yīng)子系統(tǒng)相連接，用于采集所述氣體質(zhì)量流量計的流量，采集所述化學(xué)反應(yīng)子系統(tǒng)的壓力值、溫度值、氣體濃度，根據(jù)所述的流量、壓力值、溫度值以及氣體濃度進行控制。實現(xiàn)了對化學(xué)氣相沉積薄膜過程的實時監(jiān)控，對工藝參數(shù)進行嚴格控制，并對數(shù)據(jù)進行存儲和顯示，提高可靠性和抗干擾性。