本發(fā)明公開了一種化學(xué)機(jī)械研磨墊磨損的檢測(cè)裝置及工作方法,包括:激光光源,激光光源設(shè)置于研磨盤內(nèi),激光光源上面覆蓋有透明玻璃窗口;檢測(cè)裝置,檢測(cè)裝置安裝于修整器的連接桿上;檢測(cè)裝置包括光線接收器、研磨墊監(jiān)測(cè)器和監(jiān)測(cè)器外殼;監(jiān)測(cè)器外殼為開口朝下的蓋體,蓋體的內(nèi)壁的上端面設(shè)有光線接收器,光線接收器連接有研磨墊監(jiān)測(cè)器。本發(fā)明使用光學(xué)方法實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)實(shí)時(shí)檢測(cè)研磨墊的磨損狀況,大大降低了因此造成的不良品率。
聲明:
“化學(xué)機(jī)械研磨墊磨損的檢測(cè)裝置及工作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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