本公開是關于一種研磨器、化學機械研磨裝置及研磨器的檢測方法,研磨器包括研磨部和驅動部,研磨部安裝于驅動部;驅動部內設置有氣流通路,氣流通路一端與負壓產生裝置連接,另一端與研磨部連接,用于在研磨部與驅動部連接的表面形成負壓,使研磨部吸附于驅動部;研磨器還包括測壓單元,測壓單元被配置為測量氣流通路內的壓力。本公開中研磨器的驅動部內設置連通負壓產生裝置的氣流通路,由氣流通路的另一端與研磨部連接,使得研磨部安裝狀態(tài)下,氣流通路呈密閉空間。通過對其氣流通路內的壓力進行測量,根據(jù)其壓力可以確定研磨部的安裝狀態(tài),降低偵測難度,提升偵測結果的準確度。
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