一種集成的傳感器模塊包括能夠操作以將UV輻射發(fā)射到樣本上的UV輻射源和包括光譜敏感的UV通道的傳感器,所述光譜敏感的UV通道被設(shè)置為接收來自該樣本的UV輻射。每個UV通道包括相應(yīng)的感測裝置和設(shè)置在該相應(yīng)的感測裝置的UV輻射敏感部分上方的相應(yīng)的UV干涉濾波器。用于通道中的每個特定通道的相應(yīng)的UV干涉濾波器具有透射特性,透射特性在光譜上響應(yīng)于相應(yīng)化學(xué)物質(zhì)的光譜特征。
聲明:
“用于檢測化學(xué)物質(zhì)的集成的傳感器模塊” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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