一種利用納米壓痕儀測(cè)量材料高溫力化學(xué)耦合的實(shí)驗(yàn)方法，屬于工程材料、結(jié)構(gòu)形變及力學(xué)實(shí)驗(yàn)技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明的技術(shù)特點(diǎn)是通過(guò)利用納米壓痕儀提供的高溫環(huán)境，在溫度達(dá)到目標(biāo)溫度之后在拋光的試件表面進(jìn)行壓痕實(shí)驗(yàn)，獲得試件表面壓痕，之后保持壓頭與壓痕接觸，使材料在受力條件下發(fā)生一定時(shí)間的氧化，實(shí)驗(yàn)結(jié)束后通過(guò)透射電子顯微鏡與能量色散X射線光譜儀分析測(cè)量材料表面壓頭作用區(qū)受拉應(yīng)力與受壓應(yīng)力區(qū)的氧化層厚度，計(jì)算材料在不同應(yīng)力狀態(tài)下的氧化速率。該發(fā)明基于納米壓痕儀的具體實(shí)驗(yàn)分析結(jié)果，在微米及納米尺度下，通過(guò)測(cè)量材料在不同應(yīng)力狀態(tài)下的氧化速率，對(duì)材料的力化學(xué)耦合過(guò)程及材料性能進(jìn)行評(píng)估。