本發(fā)明公開了一種用于化學(xué)機(jī)械拋光的金屬膜厚測(cè)量裝置,包括:電渦流傳感器,其包括磁芯和線圈,所述線圈沿所述磁芯的周向纏繞在所述磁芯的外周壁上;前置信號(hào)處理模塊,與所述電渦流傳感器連接,用于對(duì)所述電渦流傳感器輸入固定頻率的正弦激勵(lì)信號(hào),并通過所述電渦流傳感器采集與金屬膜厚相關(guān)的電壓信號(hào);數(shù)據(jù)采集處理模塊,與所述前置信號(hào)處理模塊連接,用于接收所述前置信號(hào)處理模塊輸出的所述電壓信號(hào)將其轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào),并根據(jù)預(yù)存的厚度標(biāo)定表將所述數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)的膜厚值;通訊模塊,用于實(shí)現(xiàn)所述數(shù)據(jù)采集處理模塊與上位機(jī)之間的通訊。
聲明:
“用于化學(xué)機(jī)械拋光的金屬膜厚測(cè)量裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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