本發(fā)明提供了一種測量化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)原料蒸發(fā)量的方法,本發(fā)明提供的方法采用測量組件對化學(xué)氣相沉積爐的原料蒸發(fā)量進行測定,通過測定固體原料變?yōu)橐后w時的位移,以及液體蒸發(fā)過程中的位移,得到原料的蒸發(fā)量。本發(fā)明提供的方法采用的測量組件,其浮球組件設(shè)置在固體原料的頂部,能夠?qū)崟r反映原料的液面的變換;測量組件中的位移傳感器組件探出化學(xué)氣相沉積爐,從而能夠?qū)崿F(xiàn)對大設(shè)備、高爐膛的化學(xué)氣相沉積爐的使用要求。而且得到的檢測結(jié)果更加準(zhǔn)確,能夠?qū)崟r反映原料的變換,從而精確的控制反應(yīng)過程中原料的比例,提高產(chǎn)品的性能。
聲明:
“測量化學(xué)氣相沉積爐的原料蒸發(fā)量的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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