化學(xué)感測(cè)裝置包括
半導(dǎo)體材料的襯底(1)、形成在襯底(1)中的集成電路組件(2)和光電檢測(cè)器(3)、襯底(1)上的電介質(zhì)(4)、在電解質(zhì)內(nèi)的布線(5)和電磁輻射源(6)、布置在電介質(zhì)中或上方的波導(dǎo)(9)和熒光傳感器層(14)。波導(dǎo)的一部分被布置為使得由電磁輻射源發(fā)射的電磁輻射耦合到波導(dǎo)中。波導(dǎo)的另一部分被布置在光電檢測(cè)器和熒光傳感器層之間。
聲明:
“使用熒光傳感材料的化學(xué)感測(cè)裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)