本發(fā)明提供一種用以感測(cè)一化學(xué)物質(zhì)的微型傳感器。本發(fā)明的微型傳感器包含一基板、一微懸臂梁、一電極結(jié)構(gòu)以及一測(cè)量組件。所述微懸臂梁形成于所述基板上并且具有用以捕捉所述化學(xué)物質(zhì)的一捕捉面。所述電極結(jié)構(gòu)用以提供一電場(chǎng),所述電場(chǎng)設(shè)置成輔助所述捕捉面捕捉所述化學(xué)物質(zhì)。所述測(cè)量組件耦接至所述微懸臂梁,所述測(cè)量組件用以測(cè)量由被捕捉的所述化學(xué)物質(zhì)引發(fā)所述微懸臂梁的一機(jī)械性質(zhì)的一變化量,并且將所述變化量轉(zhuǎn)譯成與所述化學(xué)物質(zhì)相關(guān)的一信息。
聲明:
“用以感測(cè)化學(xué)物質(zhì)的微型傳感器” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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