本發(fā)明涉及
電化學(xué)測定用室。電化學(xué)測定用室是用于利用透過了觀察窗的電子束進行測定的電化學(xué)測定用室,其特征在于,將觀察用MEMS
芯片與密封用MEMS芯片間隔地配置,該觀察用MEMS芯片具有包含電子透過性的薄膜和基板的層疊體,在薄膜上設(shè)置了工作電極和對電極,該密封用MEMS芯片是包含電子透過性的薄膜和基板的層疊體,在兩者層疊體中的一部分區(qū)域中不存在基板,在上述區(qū)域中形成包含薄膜的觀察窗,工作電極與兩者層疊體中的觀察窗重疊,并且在觀察窗上沿著電子束透過的方向具有多個貫通孔。
聲明:
“電化學(xué)測定用室” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)