本發(fā)明提供一種可進(jìn)行熱化學(xué)氣相沉積的原位測試平臺(tái)，包括：高溫?zé)崤_(tái)反應(yīng)腔體，其包括熱臺(tái)底座以及真空外罩，該真空外罩包括框架主體以及緊密安裝在該框架主體上的入射窗片和出射窗片；陶瓷加熱臺(tái)，安裝在熱臺(tái)底座上以承載一樣品；溫度控制系統(tǒng)，用以實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)陶瓷加熱臺(tái)的溫度；真空系統(tǒng)，用以對(duì)高溫?zé)崤_(tái)反應(yīng)腔體內(nèi)抽真空；反應(yīng)氣體混氣系統(tǒng)，用以為高溫?zé)崤_(tái)反應(yīng)腔體內(nèi)提供熱化學(xué)氣相沉積所需的氣源；以及真空測量系統(tǒng)，用以實(shí)時(shí)監(jiān)測高溫?zé)崤_(tái)反應(yīng)腔體內(nèi)的氣體壓強(qiáng)。本發(fā)明可以透過x射線，又可在線調(diào)節(jié)溫度、氣壓、氣流等反應(yīng)條件，從而能夠以在線的方式對(duì)熱化學(xué)氣相沉積過程中材料的生長、物相變化等過程進(jìn)行實(shí)時(shí)原位的表征與研究。