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基于化學(xué)氣相沉積二硫化鎢的光電探測器及其制備方法

934   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:49:09
本發(fā)明公開了一種基于化學(xué)氣相沉積二硫化鎢的光電探測器及其制備方法,屬于二維半導(dǎo)體材料的生長及其光電探測器的制備技術(shù)領(lǐng)域,解決了現(xiàn)有技術(shù)制備二硫化鎢實(shí)驗(yàn)條件可重復(fù)性不好,薄膜質(zhì)量欠佳等技術(shù)問題。所述的二硫化鎢由化學(xué)氣相沉積法制備得到,利用熔融鹽輔助的方法可以有效降低前驅(qū)體三氧化鎢的熔點(diǎn),從而提高材料制備的可控性。該實(shí)驗(yàn)方法工藝簡單,環(huán)境友好,適合大規(guī)模生產(chǎn)。所述光電探測器由干法轉(zhuǎn)移技術(shù)制備得到,利用干法轉(zhuǎn)移技術(shù)將金電極直接轉(zhuǎn)移到生長有二硫化鎢的襯底上,保護(hù)了二硫化鎢的晶體結(jié)構(gòu)。此外,生長的二硫化鎢晶體結(jié)晶質(zhì)量高,利用其制備的光電探測器具有高響應(yīng)度、高外量子效率、高探測度的特點(diǎn),表現(xiàn)出優(yōu)異的光電探測性能。
聲明:
“基于化學(xué)氣相沉積二硫化鎢的光電探測器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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