本發(fā)明公開了一種化學氣相沉積速率預測方法,具體涉及化學工藝研究領(lǐng)域,具體預測方法如下:建立有限元反應器模型;建立能量守恒方程;建立質(zhì)量守恒和動量守恒方程;建立多組分擴散方程;建立氣相反應模型;極限學習機模型和粘附系數(shù)法確定主要中間物質(zhì);建立表面反應模型;沉積速率預測模型建立粘度系數(shù)和表面濃度、沉積速率的相關(guān)性;建立中間物質(zhì)粘度系數(shù)與其影響因素之間的多因變量的PLSR模型;根據(jù)實驗結(jié)果確定粘附系數(shù)。本發(fā)明結(jié)合機器學習和計算流體力學的模擬技術(shù),將大大降低模型參數(shù)對人為經(jīng)驗的依賴,通過少量實驗即可準確確定重要中間相和粘滯系數(shù),達到預測結(jié)果準確性高、可靠性強的技術(shù)效果。
聲明:
“化學氣相沉積速率預測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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