本發(fā)明公開了一種納米顆粒團(tuán)聚型納米多孔電化學(xué)驅(qū)動器及其制備和測試方法，該驅(qū)動器包括柔性導(dǎo)體材料的沉積基底和沉積在沉積基底上的驅(qū)動薄膜；該制備方法利用高能激光束轟擊實現(xiàn)靶材從固態(tài)—等離子態(tài)—固態(tài)的轉(zhuǎn)變，從而可在不同基底上形成納米顆粒團(tuán)聚型納米多孔驅(qū)動薄膜。通過調(diào)控靶基間距、基底轉(zhuǎn)速、沉積溫度等制備條件，可獲得顆粒粒徑可控的納米多孔電化學(xué)驅(qū)動器?？朔藗鹘y(tǒng)電化學(xué)驅(qū)動器不可兼顧響應(yīng)速率與變形能力的不足；通過縮短離子嵌入路徑、提升離子吸附能力，驅(qū)動速率與變形幅值得以同步提升。本發(fā)明驅(qū)動器響應(yīng)速率快、驅(qū)動幅值高、載物驅(qū)動能力強(qiáng)、工藝簡單且成本低廉，其可推動電化學(xué)驅(qū)動器在小型醫(yī)療器械、微納機(jī)電系統(tǒng)等領(lǐng)域的應(yīng)用。