本實用新型涉及一種常壓式化學氣相沉積機履帶速度監(jiān)測報警裝置。它包括帶輥和控制器。所述帶輥上套有履帶。鄰近帶輥的履帶下方有底座。其特點是:底座上有輪座,輪座上有從動輪,從動輪的輪面與途徑帶輥處的履帶表面間呈滾動狀相配合。所述輪座上有測速傳感器,測速傳感器通過導線與控制器相連,控制器上連有蜂鳴器。采用這種監(jiān)測報警裝置,可避免因履帶停止運行而導致的晶圓報廢情況發(fā)生。適用于常壓式化學氣相沉積機履帶速度的監(jiān)測。
聲明:
“常壓式化學氣相沉積機履帶速度監(jiān)測報警裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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