本發(fā)明公開(kāi)了一種用于化學(xué)機(jī)械研磨工藝模型建模的測(cè)試圖形,除了包括現(xiàn)有以線/線間隔為組元的單一測(cè)試圖形結(jié)構(gòu),還提供一種包括兩種組元的雙重測(cè)試結(jié)構(gòu)。變化雙重測(cè)試結(jié)構(gòu)中兩種組元的密度、線寬、線間距以及周長(zhǎng)等幾何特征,可以得到差異的目標(biāo)圖形幾何特征與周圍圖形幾何特征,從而可以更好的引入目標(biāo)區(qū)域周圍圖形的幾何特征影響,進(jìn)而提高了化學(xué)機(jī)械研磨工藝模型的準(zhǔn)確性。
聲明:
“用于化學(xué)機(jī)械研磨工藝模型建模的測(cè)試圖形” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)