本發(fā)明提供一種可偵測(cè)研磨過(guò)程中修整盤脫落的修整盤系統(tǒng)、化學(xué)機(jī)械研磨裝置以及修整盤脫落的偵測(cè)方法，修整盤系統(tǒng)包括：修整盤，用于在研磨過(guò)程中修整研磨墊；固定盤，位于所述修整盤上方，且與所述修整盤相固定；偵測(cè)系統(tǒng)，包括絕緣部件以及傳感器組件，所述絕緣部件設(shè)置于所述固定盤內(nèi)，具有相對(duì)的第一表面和第二表面，所述第一表面與所述修整盤相接觸，所述傳感器組件設(shè)置于所述第二表面上，所述偵測(cè)系統(tǒng)用于對(duì)所述修整盤脫落情況的偵測(cè)。通過(guò)上述方案，本發(fā)明的修整盤系統(tǒng)，通過(guò)偵測(cè)系統(tǒng)偵測(cè)在研磨過(guò)程中修整盤脫落情況，實(shí)時(shí)偵測(cè)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)修整盤的脫落；偵測(cè)方法中可以采用電容式傳感器，測(cè)試信號(hào)直觀，實(shí)現(xiàn)方式簡(jiǎn)便。