本實用新型公開了一種半導(dǎo)體化學氣相沉淀裝置金屬面板測孔治具,屬于氣相沉淀裝置測孔技術(shù)領(lǐng)域,包括治具本體,所述治具本體為一具有厚度的矩形板結(jié)構(gòu),所述治具本體上一側(cè)設(shè)有對稱設(shè)置的找正孔,所述治具本體中部開設(shè)有定位槽,所述定位槽為貫穿于治具本體的圓形通孔;所述定位槽的側(cè)壁連接有定位環(huán),所述定位環(huán)為一具有厚度和高度的圓環(huán)狀結(jié)構(gòu),所述定位環(huán)上端面為階梯狀的臺階卡槽;所述治具本體的一角處連接有定位塊,治具本體上定位塊所在位置開設(shè)有底部定位孔。本治具節(jié)省測量時間,測孔位置固定,測量結(jié)果準確且有對比性。
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