一種真空感應(yīng)化學(xué)氣相沉積爐測溫?zé)犭娕嫉霓D(zhuǎn)接器,包括導(dǎo)通螺桿和絕緣板;兩個導(dǎo)通螺桿分別插入絕緣板上的兩個螺栓安裝孔內(nèi),并用螺母固定;絕緣板密封圈裝入位于轉(zhuǎn)接器絕緣板上的密封槽內(nèi)。使用時,將轉(zhuǎn)接器用連接螺栓固定在爐體側(cè)壁開孔的連接法蘭上,并將熱電偶補償導(dǎo)線與溫度顯示和控制儀表連接。通過本發(fā)明,將熱電偶的信號傳遞給儀表。熱電偶的保護(hù)管的長度從爐體工作區(qū)的保溫上蓋板到工作區(qū)的溫度監(jiān)測點,避免了原來熱電偶保護(hù)管損壞導(dǎo)致爐體真空狀態(tài)的破壞現(xiàn)象出現(xiàn),并通過轉(zhuǎn)接器保持爐體真空,由于轉(zhuǎn)接器不受工作區(qū)溫度影響,爐體真空保持功能可靠,所以采用轉(zhuǎn)接器提高了設(shè)備運行的安全性。
聲明:
“真空感應(yīng)化學(xué)氣相沉積爐測溫?zé)犭娕嫉霓D(zhuǎn)接器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)