本發(fā)明公開了一種分析
半導(dǎo)體材料的成份的方法,包括用能量源的能量輻射半導(dǎo)體材料,能量從該半導(dǎo)體材料衍射,檢測衍射能量的一部分或多部分,并分析每個檢測到的部分以獲得一個表示每部分強(qiáng)度的參數(shù),并利用對衍射能量部分的位置和/或強(qiáng)度的了解來確定半導(dǎo)體的化學(xué)成份。檢測到的每部分衍射能量可以是從材料衍射的準(zhǔn)禁止反射,可以是從材料衍射的(002)反射或(006)反射。對每部分衍射能量的檢測可以在一個或多個檢測角(9)處進(jìn)行,或者在衍射能量源的所有反射/透射的角處進(jìn)行,或在一個或多個角度的范圍內(nèi)進(jìn)行。能量源可包括x射線管產(chǎn)生的x射線,可以用一個或多個檢測器(4)檢測衍射能量的每部分。
聲明:
“分析材料成份的方法和裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)