本發(fā)明利用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)工藝及封裝技術(shù),以制造出具有多種離子感測(cè)功能的血液分析微系統(tǒng)。該血液分析微系統(tǒng)具有一集成化微型的參考電極,故
芯片尺寸可非常微小化;且具有比平面式離子選擇電極(Planar?ISE)或離子感測(cè)場(chǎng)效應(yīng)晶體管(ISFET)更大的柵極感測(cè)區(qū),可以有效避免不必要的信號(hào)干擾、降低封裝困難及液體滲漏的機(jī)率。因此,該血液分析微系統(tǒng)具有成品輕薄短小、反應(yīng)速度快、精密度高、成本較低及與IC工藝兼容性高的優(yōu)點(diǎn),并且具有長(zhǎng)期電位穩(wěn)定度極高、補(bǔ)偏電位極低、交流阻抗小、動(dòng)態(tài)參考電位穩(wěn)定、
電化學(xué)噪聲低、電極的再現(xiàn)性高等優(yōu)秀的電化學(xué)特性。
聲明:
“血液分析微系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)