本實用新型涉及化學氣體的采樣設備技術(shù)領域,尤其是涉及一種分析三氯
硅烷中其他氯硅烷的采樣處理裝置。本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的:一種分析三氯硅烷中其他氯硅烷的采樣處理裝置,包括采集罐、通過進氣管與采集罐連通的且用于采集樣氣的采集組件,所述采集罐上開設有頂部進風口和檢修口;其特征在于:所述采集罐內(nèi)設置有用于提高進氣速度的軸流風機組件;所述軸流風機組件包括安裝在采集罐上的電源、兩個軸流風機單元、用于安裝軸流風機單元的安裝架以及調(diào)整軸流風機單元的位置的正反轉(zhuǎn)電機;各安裝架可拆卸安裝有若干具有容納空間的安裝筒;所述正反轉(zhuǎn)電機上安裝有控制器;本實用新型實用性強,易于推廣。
聲明:
“分析三氯硅烷中其他氯硅烷的采樣處理裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)