本發(fā)明提供一種銅合金材料表層逐層分析方法,其包括:選定輝光放電離子源和質(zhì)譜分析條件,樣品處理和樣品分析,利用輝光放電離子源使分析樣品在陰極濺射作用下均勻地逐層剝離,在高靈敏度的質(zhì)譜儀系統(tǒng)中,實(shí)時(shí)記錄分析樣品質(zhì)譜峰強(qiáng)度隨時(shí)間的連續(xù)變化信號,采用組成成份和深度雙重定標(biāo)的方法,將這種連續(xù)變化信號轉(zhuǎn)化為樣品的化學(xué)組成隨深度的變化,完成黃銅基材上鋁青銅膜樣品的表層逐層定量分析。本發(fā)明選擇合適的氬氣壓力、放電電壓、樣品濺射斑面直徑、樣品的測量時(shí)間等分析參數(shù)可將層間分辨率提高到幾干納米,實(shí)現(xiàn)了黃銅基材上鋁青銅表層的超薄層逐層分析。
聲明:
“銅合金材料表層逐層分析方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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