本實(shí)用新型屬于
電化學(xué)沉積領(lǐng)域,并公開(kāi)了一種用于電化學(xué)沉積的夾具和電化學(xué)沉積裝置。該夾具包括用于夾持生長(zhǎng)基底的夾板、用于承載對(duì)電極的平板、用于安置參比電極的支撐件和底座,夾板和底座通過(guò)支柱固定在一起,平板通過(guò)支柱沿著第一方向可調(diào)節(jié)地安裝在夾板和底座之間,且?jiàn)A板、平板和底座相互平行,所述支撐件設(shè)置在夾板和平板之間,其中在所述夾板上安裝有測(cè)溫探頭。該電化學(xué)沉積裝置包括電解池、上述夾具、電化學(xué)工作站、水浴恒溫系統(tǒng)、以及測(cè)溫表和可選的顯示終端,所述電解池用于放置所述夾具。采用本實(shí)用新型的電化學(xué)沉積裝置制備的材料的均勻性可以得到極大提升。
聲明:
“用于電化學(xué)沉積的夾具和電化學(xué)沉積裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)