本發(fā)明公開了一種應(yīng)用于化學(xué)藥液供給系統(tǒng)的化學(xué)藥液溫度控制裝置,包括:用于將化學(xué)藥液加熱的加熱器;用于測量經(jīng)加熱器加熱后的化學(xué)藥液的實(shí)際溫度的溫度傳感器;根據(jù)設(shè)定溫度與測量的實(shí)際溫度的溫差輸出控制信號的控制器;和根據(jù)所述控制信號控制所述加熱器加熱的功率控制器。其中,當(dāng)溫差超出預(yù)定范圍時(shí),控制器基于PI運(yùn)算輸出所述控制信號;當(dāng)溫差位于所述預(yù)定范圍內(nèi)時(shí),控制器根據(jù)該溫差在該預(yù)定范圍內(nèi)的區(qū)段輸出與該區(qū)段相對應(yīng)的定常量的所述控制信號,其中所述預(yù)定范圍內(nèi)的區(qū)段為連續(xù)分布的多個(gè)。本發(fā)明能夠快速穩(wěn)定地控制藥液加熱且無超調(diào)。
聲明:
“應(yīng)用于化學(xué)藥液供給系統(tǒng)的化學(xué)藥液溫度控制裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)