本發(fā)明提供了一種化學氣相沉積設備的安裝方法及化學氣相沉積設備,其安裝方法包括步驟:將晶舟安裝在基座上,且在所述晶舟一側(cè)設置有投影板;在所述投影板設置參照物;第一光束照射所述晶舟,使所述晶舟投影到所述投影板上形成晶舟投影;沿所述基座的中心軸旋轉(zhuǎn)所述基座,且上述晶舟和所述基座一起旋轉(zhuǎn),測量在旋轉(zhuǎn)過程中所述晶舟投影與所述參照物之間的距離,當旋轉(zhuǎn)過程中所述距離發(fā)生變化時,則調(diào)整所述晶舟在所述基座上的位置,從而使得安裝時晶舟能位于反應腔室中心。