本發(fā)明提供一種用于生化檢測的MOSFET型微薄膜傳感器、檢測系統(tǒng)與檢測方法,包括基底、設(shè)置在基底上的鏤空部分、位于鏤空部分內(nèi)的微薄膜、四個支撐微懸臂梁、支撐微懸臂梁上的MOSFET輸出結(jié)構(gòu);四個支撐微懸臂梁相互對稱設(shè)置,其一端與微薄膜相連,另一端與外部基底相連后固定,四個支撐微懸臂梁上的MOSEFET輸出結(jié)構(gòu)為一對對稱設(shè)置的PMOS結(jié)構(gòu)以及一對對稱設(shè)置的NMOS結(jié)構(gòu)。本發(fā)明使用方便,傳感器抗干擾能力強,能夠保證測量精度;傳感器可采用MEMS加工制作,成本低廉,且能夠保證傳感器具有良好的一致性;該傳感器及相應(yīng)的檢測系統(tǒng)通用性強,可用于生物醫(yī)學(xué)、化學(xué)、食品安全、環(huán)境污染等領(lǐng)域中的檢測和監(jiān)控。
聲明:
“用于生化檢測的MOSFET型微薄膜傳感器、檢測系統(tǒng)與檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)