本發(fā)明涉及化學(xué)氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域,提供了一種飛秒激光預(yù)解離裝置,包括飛秒激光解離模塊以及高里德堡原子檢測模塊,所述飛秒激光解離模塊與所述高里德堡原子檢測模塊通過第一管道連通,所述第一管道安設(shè)有閥門。還提供一種化學(xué)氣相沉積設(shè)備,包括反應(yīng)氣體供給源、反應(yīng)腔以及上述的一種飛秒激光預(yù)解離裝置。本發(fā)明通過飛秒激光解離模塊預(yù)先將反應(yīng)氣體催化解離,使之在進入反應(yīng)腔前就解離為CH2或CH,可極大提高生產(chǎn)效率且減少對空氣的污染,同時通過高里德堡原子檢測模塊分析H2、CH3、CH2或CH等氣體的成分,并將其反饋至飛秒激光解離模塊,供飛秒激光解離模塊實時調(diào)整優(yōu)化功率密度和時域分布,可更好地控制催化反應(yīng)的進程。
聲明:
“飛秒激光預(yù)解離裝置及化學(xué)氣相沉積設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)