本發(fā)明涉及質(zhì)譜儀電離源，具體的說(shuō)是一種射頻電場(chǎng)增強(qiáng)的單光子-化學(xué)電離源，該電離源包括真空紫外光源，離子產(chǎn)生和傳輸區(qū)以及電離室真空腔體；在電離離子產(chǎn)生和傳輸區(qū)內(nèi)平行、間隔設(shè)置有若干傳輸電極和真空差分孔電極；沿電極的軸線方向都開(kāi)有通孔，真空紫外光源發(fā)射的紫外光沿此軸線方向入射到孔電極上；傳輸電極和孔電極上分別施加有直流電壓，其中一個(gè)傳輸電極上疊加有射頻電壓。通過(guò)對(duì)射頻電壓開(kāi)啟和關(guān)閉的控制，可以實(shí)現(xiàn)兩種不同電離方式的切換。本發(fā)明所涉及的電離源在包含單光子電離源的基礎(chǔ)上，利用光電效應(yīng)得到的光電子電離試劑氣體得到化學(xué)電離源，通過(guò)電離區(qū)內(nèi)引入射頻電場(chǎng)增強(qiáng)光電子引發(fā)的化學(xué)電離，提高了檢測(cè)靈敏度，并且可實(shí)現(xiàn)電離能高于紫外線光子能量的樣品分子的軟電離，拓寬了可分析樣品的范圍。