本實(shí)用新型涉及一種
電化學(xué)沉積槽藥量控制裝置,它包括:藥液濃度分析儀,藥液濃度分析儀與槽體相連接,且從槽體接收藥液進(jìn)行濃度分析;藥水供應(yīng)組件,藥水供應(yīng)組件包括用于檢測(cè)藥液量的稱重傳感器,還包括氣動(dòng)隔膜泵以輸送藥水;藥水添加組件,藥水添加組件連接在藥水供應(yīng)組件和槽體之間,藥水添加組件包括加液桶和連接在加液桶上的進(jìn)液管路和出液管路,進(jìn)液管路連接氣動(dòng)隔膜泵,出液管路連接槽體。由于設(shè)置有藥液濃度分析儀,從而可以實(shí)時(shí)從槽體中取出藥液進(jìn)行濃度分析,當(dāng)藥液濃度不夠時(shí)通過藥水供應(yīng)組件和藥水添加組件向槽體中加入藥液,且藥水供應(yīng)組件中的稱重傳感器可以控制加藥量。使得藥液濃度控制更為實(shí)時(shí)。
聲明:
“電化學(xué)沉積槽藥量控制裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)