本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體行業(yè)中SO2濃度的檢測(cè)的領(lǐng)域,公開(kāi)一種用于檢測(cè)
半導(dǎo)體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測(cè)系統(tǒng),包括:用于收集取樣點(diǎn)的待檢測(cè)氣體的收集袋;設(shè)置在收集袋內(nèi)的四電極
電化學(xué)二氧化硫傳感器;用于對(duì)四電極電化學(xué)二氧化硫傳感器采集到的氣體濃度檢測(cè)值進(jìn)行處理的處理器。這里通過(guò)將待檢測(cè)氣體收集至收集袋中,并通過(guò)四電極電化學(xué)二氧化硫傳感器對(duì)待檢測(cè)氣體的濃度進(jìn)行檢測(cè),四電極電化學(xué)二氧化硫傳感器檢測(cè)精度高,并且為了進(jìn)一步提高檢測(cè)精度,這里對(duì)待檢測(cè)氣體進(jìn)行多次檢測(cè),并將獲取的待檢測(cè)氣體的檢測(cè)值通過(guò)處理器經(jīng)過(guò)一系列的計(jì)算。
聲明:
“用于檢測(cè)半導(dǎo)體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測(cè)系統(tǒng)” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)