本發(fā)明提供了一種化學(xué)機(jī)械拋光墊,其包括:拋光層;以及結(jié)合至所述化學(xué)機(jī)械拋光墊中的終點(diǎn)檢測窗口,其中所述終點(diǎn)檢測窗口是塞入性窗口;其中所述終點(diǎn)檢測窗口包含以下成分的反應(yīng)產(chǎn)物,所述成分包含窗口預(yù)聚物以及窗口固化劑體系,所述窗口固化劑體系包含至少5重量%的窗口雙官能的固化劑、至少5重量%的窗口胺引發(fā)的多元醇固化劑以及25-90重量%窗口高分子量多元醇固化劑。
聲明:
“具有拋光層和窗口的化學(xué)機(jī)械拋光墊” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)