各種實(shí)施例涉及一種化學(xué)品傳感器。化學(xué)品傳感器可包括基板,基板包括第一密封(或隔離)腔以及與第一密封(或隔離)腔分開(kāi)的第二密封(或隔離)腔?;瘜W(xué)品傳感器也可包括在第一密封(或隔離)腔中的發(fā)射器,發(fā)射器配置為發(fā)射紅外光?;瘜W(xué)品傳感器還可包括在第二密封(或隔離)腔中的檢測(cè)器?;瘜W(xué)品傳感器也可包括波導(dǎo),波導(dǎo)配置為將紅外光從發(fā)射器輸送到檢測(cè)器。波導(dǎo)可包括傳感部分,傳感部分配置為使通過(guò)傳感部分輸送的紅外光的特性響應(yīng)于與傳感部分接觸的化學(xué)實(shí)體而改變。檢測(cè)器可配置為檢測(cè)(紅外光的)特性上的改變。
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“化學(xué)品傳感器及其形成方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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