本申請(qǐng)屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種泄漏檢測(cè)件、氣體管路、制造設(shè)備以及管道泄漏檢測(cè)方法，該泄漏檢測(cè)件用于檢測(cè)管道，包括固定部和檢測(cè)部，固定部用于與管道以可拆卸連接的方式連接，管道中通入氣體，檢測(cè)部設(shè)置在固定部上，通過(guò)檢測(cè)部與氣體接觸的化學(xué)反應(yīng)確定管道發(fā)生泄漏。根據(jù)發(fā)明實(shí)施例的泄漏檢測(cè)件，通過(guò)檢測(cè)部與氣體接觸時(shí)，發(fā)生化學(xué)反應(yīng)確定管道泄漏，將微小的變化轉(zhuǎn)變?yōu)槿庋劭梢杂^察到的變化，彌補(bǔ)了通過(guò)壓力檢測(cè)的方式檢測(cè)范圍有限的缺點(diǎn)，響應(yīng)時(shí)間短，靈敏度高，檢測(cè)成本低。確定管道出現(xiàn)泄漏后，對(duì)管道進(jìn)行及時(shí)的維修，使氣體能夠完全被導(dǎo)入反應(yīng)室中并在工件表面發(fā)生反應(yīng)，進(jìn)而保證集成電路產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程和品質(zhì)。